CCCL01微納尺寸測量儀

產品簡介
CCCL01微納尺寸測量儀可用于印制電路板微切片、精密機械零件、晶圓刻蝕微結構、光通訊器件、精密模具、磁性材料、精密沖壓、手機精密配件、醫療器械、鐘表、刀具、計量檢測等領域。

產品型號：

更新時間：2024-08-07

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微納尺寸測量儀

YXCL200 CCCL01

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CCCL01微納尺寸測量儀

將顯微成像與傳統影像測量相結合，實現了微小特征的大范圍測量。配置電動變倍鏡頭，可自動切換到不同的倍率，探測各種精密微觀二維尺寸特征。測量儀功能豐富，擁有自動調色增強圖像效果功能，滿足大范圍測量拼圖功能，實現自動抓取擬合測量功能，可進行各種二維尺寸點、線、圓等的測量和形位公差的評價，可進行各種段差、角度、平面度測量。

CCCL01微納尺寸測量儀可用于印制電路板微切片、精密機械零件、晶圓刻蝕微結構、光通訊器件、精密模具、磁性材料、精密沖壓、手機精密配件、醫療器械、鐘表、刀具、計量檢測等領域。

技術規格

表2

型號		CCCL01
物鏡		10X	20X	50X
圖像傳感器		高清工業像機
顯示器		24英寸 LCD顯示器（XGA：1920×1080）
單視場范圍		0.35×0.42mm	0.17×0.21mm	0.07×0.08mm
橫向分辨率*¹		0.2μm	0.1μm	0.05μm
測量精度*²	單視場	±0.03μm	±0.02μm	±0.01μm
	運動軸Ex/Ey	±（2.0+0.01L）μm
單視場重復精度*³		±0.1μm	±0.1μm	±0.05μm
高度測量*⁴	測量精度	±（2.0+0.01L）μm
	重復精度	±1μm
行程范圍	X和Y軸	100*100mm
	載物有效尺寸	90*90mm
	Z軸	80mm
光柵顯示分辨率		0.1μm
照明系統	透射照明	同軸點光（白光）
	反射照明	環形光（白光）
	輪廓光	透過照明（綠光）
點激光測量精度*⁴	最大孔深比	1.5
	高度范圍	±3.5mm
	精度	±2.0μm
測量軟件		VisionPower
最大測量速度	XY	30 mm/s
	Z	75 mm/s
外形尺寸(L×W×H)		600×440×750mm
重量		65kg
承重		5kg
工作電源		100-240VAC,50/60Hz,2A 功率 400W
工作環境		溫度10℃~35℃，濕度20~80%（無凝結）

注：

*1在調焦位置，使用環境溫度為+20±1.0℃時，測量標準線對分辨率板。

*2在調焦位置，使用環境溫度為+20±1.0℃時，測量微納米標準板。

*3在調焦位置，使用環境溫度為+20℃±1.0℃時，測量微納米標準板。

*4為Z軸機械精度，采用鏡頭聚焦測高的精度依賴于工件表面。

*5需選配光學高度測量傳感測頭。

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